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製品概要
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純水薬液用のポンプのラインナップは1MPa〜500MPaまでの広範囲の圧力が発生可能です。
ご使用可能な流体は、一般水・純水・IPA・NMP・過酸化水素水・フォトレジストなど多種にわたります。
また、ポンプ吐出ラインの付属品もございますのであわせてご参考にしてください。 |
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MLシリーズ（純水薬液用）一覧表
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| 型 番 |
最高吐出圧
MPa |
倍 率 |
押しのけ量
CC／ｓｔ |
エアー消費量
NL／分
0.5MPa作動時 |
| MLS-A-300 |
30 |
64 |
2.35 |
310 |
| 200 |
20 |
44 |
3.39 |
310 |
| 150 |
15 |
32 |
4.61 |
310 |
| 75 |
7.5 |
16 |
9.42 |
310 |
| 20 |
2 |
4 |
37.68 |
310 |
| MLS-B-500 |
50 |
100 |
5.65 |
886 |
| 350 |
35 |
73 |
7.69 |
886 |
| 250 |
25 |
56 |
10.04 |
886 |
| 200 |
20 |
44 |
12.71 |
886 |
| 150 |
15 |
29 |
18.99 |
886 |
| 120 |
12 |
25 |
22.6 |
886 |
| 75 |
7.5 |
16 |
35.32 |
886 |
| MLS-C-1000 |
100 |
177 |
5.65 |
969 |
| 500 |
50 |
100 |
10.04 |
969 |
| 250 |
25 |
52 |
18.99 |
969 |
| 200 |
20 |
44 |
22.6 |
969 |
| 150 |
15 |
28 |
35.32 |
969 |
| 75 |
7.5 |
16 |
62.8 |
969 |
| 50 |
5 |
10 |
98.12 |
969 |
| 35 |
3.5 |
7 |
141.3 |
969 |
| MLS-D-2500 |
250 |
445 |
3.17 |
1,196 |
| 1500 |
150 |
298 |
4.74 |
1,196 |
| 300 |
30 |
62 |
22.6 |
1,196 |
| 100 |
10 |
22 |
62.8 |
1,196 |
| 50 |
5 |
10 |
141.3 |
1,196 |
| MLS-E-3000 |
300 |
597 |
3.17 |
1,145 |
| 2500 |
250 |
484 |
3.92 |
1,145 |
| 1000 |
100 |
182 |
12.5 |
1,145 |
| 250 |
25 |
53 |
35.32 |
1,145 |
| 150 |
15 |
30 |
62.8 |
1,145 |
| 70 |
7 |
13 |
141.3 |
1,145 |
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| 上記以外にもＭＬＷ・ＭＬＴＷシリーズがありますのでお問い合わせください。 |
| 仕様については予告なく変更することがありますのであらかじめご了承ください。 |
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